金百辰智能科技(浙江)有限公司从事汽车零部件、家电类、机械配件等塑胶成型与pvd镀膜工艺加工。
pvd镀膜技术与您分享如果生产过程中的真空度不够,表面上沾了灰尘或油滴之后会出现严重的后果。集成电路中细线的宽度是吸烟时吐出的烟雾颗粒直径的1/3,是一粒灰尘直径的近万分之一。对集成电路而言,哪怕落有一颗烟雾的颗粒,就好像大路上停了一架大型飞机一样,使电子无法通过或造成短路。
新材料开发离不开真空。
以分子束外延为代表的薄膜生长技术是新材料开发的重要手段,薄膜材料放到蒸发源中之后被蒸发或升华,在高真空环境中,薄膜材料的原子或分子可以长距离飞行,到达衬底成膜;而且由于残留气体少,衬底表面形成的薄膜纯度高。
表面科学领域对真空度的要求高。
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pvd镀膜技术与您分享 磁控溅射生成的薄膜厚度的均匀性是成膜性质的一项重要指标,因此有必要研究影响磁控溅射均匀性的因素,以更好的实现磁控溅射均匀镀膜。简单的说磁控溅射就是在正交的电磁场中,闭合的磁场束缚电子围绕靶面做螺线运动,在运动过程中不断撞击工作气体气电离出大量的离子,离子在电场作用下加速轰击靶材,溅射出呈中性的靶原子(或分子)沉积在基片上成膜。所以要实现均匀的镀膜,就需要均匀的溅射出靶原子(或分子),这就要求轰击靶材的离子是均匀的且是均匀的轰击的。由于离子在电场作用下加速轰击靶材,所以均匀轰击很大程度上依赖电场的均匀。而离子来源于被闭合的磁场束缚的电子在运动中不断撞击的工作气体气,这就要求磁场均匀和工作气体气均匀。但是实际的磁控溅射装置中,这些因素都是不均匀的,这就有必要研究他们不均匀对成膜均匀性的影响。
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pvd镀膜技术与您分享磁场不均匀的影响
由于实际的磁控溅射装置中电场和磁场不是处处均匀的,也不是处处正交的,都是空间的函数。写出的三维运动方程表达式是不可解的,至少没有初等函数的解。所以磁场的不均匀性对离子的影响,也即对成膜不均匀性的影响是难以计算的,有效方法就是配合实验具体分析。是用中频孪生靶柔性卷绕磁控溅射镀膜装置实验得出的靶磁场均匀性和成膜厚度均匀性的对应关系。
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