广州潽拓光电科技有限公司——安捷伦分子泵不转
罗茨真空泵市场
从国外罗茨泵生产情况来看,国外几家大公司,如Leybold、Balzers、Alcatell、Edwards和ULVAC,他们各家罗茨泵的销售额占罗茨泵销售额的比例都没超过5%,这5家总计才20%,罗茨泵产量不大,但国外罗茨泵的价格远比国产泵要高得多。目前,国内外几乎所有大型或小型的高真空和中真空系统,为了缩短抽气时间、提高生产效率都配有罗茨泵,所以国产罗茨泵一定要在占领基础上设法进入国际市场,这样就必须进一步降低国产罗茨泵的振动噪声,轴封漏油问题,改进泵的外观质量,提高泵内的光洁度和清洁度。另外,还要考虑到有些国家和地区的电源频率为60Hz,更要确保罗茨泵在提高转速的情况下长期运行的可靠性
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分子泵叶片破碎的原因:
答:造成分子泵转子、静子打碎的原因比较多,归纳起来主要是以下几点:
①、误操作;比如突然的破真空,因为转子与静子叶片之间的空隙非常的小,如果叶片的材质比较薄或者比较软,突然的空气阻力会造成叶片变形,这样可能会造成转子静子之间的摩擦,导致打碎。
②、是异物掉入;没有安装过滤网使肯定不行的,另外掉进去的东西不一定要多大,但如果硬度够了一样会造成伤害,轻则造成叶片边缘被打成锯齿状,重则打碎叶片。所以现在的设备商在安装分子泵的时候会尽量改为侧面90度或倒立安装,避免异物掉入。
③、电压的不稳定,特别对磁浮类的分子泵损伤较大。
④、前级泵的效率差;我们知道腔体内的大部分气体首先是通过前级泵抽出,真空达到一定程度分子泵才会启动。如果前级泵的效率差,分子泵就会比较吃力,启动速度慢,抽气时间长,电流高,分子泵温度升高等。
⑤、、分子泵保养时的动平衡没有做好,这是技术的关键,动平衡差,振动就大,抽气效率就差,也容易造成轴承部分的过度磨损。
⑥、轴承部分没有使用原厂的标准轴承,效果和尺寸不标准等。
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气载、热气体、突变气载
a 引起问题:温度升高;动静片变形;转子上移;润滑失效5℃原则;轴承失效
b. 措施:加大水冷;增加冷却装置;缩短换油时间7磁场屏蔽出现的问题
旋转的转子在磁场中产生涡电流,将使转子发热,将产生如下问题:
①、转子与定子间隙越来越小,造成碎片;
②、转子温升过大造成磁性电机转子退磁;
③、由于发热会减弱铝材料的强度,造成碎泵;
④、转子发热,改变转子和轴的相对位置,造成碎泵。
分子泵在磁场中运转时,径向和轴向磁场强度均不得大于30Gs。原则上,大于30Gs应使用导磁材料屏蔽。
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为什么要选择涡旋式无油干泵IDP-3?极低维护成本IDP-3的采购价格及维护包价格只是隔膜泵的一半更换操作快捷15分钟即可完成的密封条更换工作降低音频噪声—提高用户体验使用精密的测声计,并通过ISO标准进行测试:在操作人员位置的测试结果表明,IDP-3的噪声会小于油封式真空泵2dB
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安捷伦发布了全新一代高真空涡轮分子泵 TwisTorr 704FS。作为一款加持了诸多“黑科技”的全新产品,TwisTorr 704 FS 高真空涡轮分子泵在具有高可靠性的同时,还能做到更经济。
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安捷伦真空近年来陆续发布了多个型号的 TwisTorr 分子泵,该系列把分子泵的典型工作范围从高真空扩展到了超高真空(参考文章:安捷伦TwisTorr超高真空涡轮分子泵特点介绍)。近日,针对一些对压缩比要求不高而气体流量很大的应用,安捷伦真空又发布了 TwisTorr 305 Q 系列分子泵。
抽速、压缩比等性能参数是分子泵设计之初就要首先考虑的,也是各项设计调整优化的重要目标。产品定型时,安捷伦对外发布的各项参数和曲线,比如下图的抽速和压缩比曲线,都来自于这些测试的结果。这些测试都有相关的资质,在此不再展开描述。
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分子泵:安捷伦TwisTorr涡轮分子泵采用独有的AFS悬浮轴承技术,工作时振动非常低,被广泛地应用在世界各地的众多电子显微镜上。一个位于日本的业界,从2015年起,在其生产的电子显微镜上使用了1000多台安捷伦分子泵,泵的可靠性非常接近,实测的振动水平低于0.01米/秒2,噪声等级更是只有40dB(A)。
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当磁场逐步增加后,被测分子泵转子的平衡温度也随之上升,当磁场强度为 7mT 时,平衡温度上升到 100 摄氏度左右(安捷伦分子泵的允许温度为 120 度)。另外,KIT 使用该测试平台测试了另一台其它品牌的分子泵,一系列的对比测试表明,安捷伦分子泵在相同的磁场条件下转子的平衡温度明显较低( 5mT 时,低大约40度)。
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