原子层沉积是在一个加热反应器中的衬底上连续引入至少两种气相前驱体物种,化学吸附的过程直至表面饱和时就自动终止,适当的过程温度阻碍了分子在表面的物理吸附。
目前可以沉积的材料包括:氧化物,氮化物,氟化物,金属,碳化物,复合结构,硫化物,纳米薄层等。 中空纳米管,隧道势垒层,光电电池性能的提高,纳米孔道尺寸的控制,高高宽比纳米图形,微机电系统(MEMS)的反静态阻力涂层和疏水涂层的种子层,纳米晶体,ZnSe涂层,纳米结构,中空纳米碗,存储硅点涂层,纳米颗粒的涂层,纳米孔内部的涂层,纳米线的涂层。
1、派瑞林真空镀膜设备有效应用于磁性材料领域,派瑞林的制备工艺和优异性能相结合,使它能对小型超小型磁材进行无薄弱点全涂敷的磁材可浸盐酸10天以上不腐蚀,目前国际上小型或者超小型磁材,几乎都采用派瑞林镀膜工艺作绝缘和防护涂层。
2、派瑞林真空镀膜设备有效应用于印制电路组件和元器件领域,镀膜材料通过派瑞林真空镀膜设备使得活性的对二双游离基小分子气在印制电路组件表面沉积聚合完成。气态的小分子能渗透到包括贴装件下面任何一个细小缝隙的基材上沉积,形成分子量约50万的高纯聚合物。
3、派瑞林真空镀膜设备有效应用于微电子集成电路领域,派瑞林的真空气相沉积工艺不仅和微电子集成电路制作工艺相似,而且所制备的派瑞林涂层介电常数也低,还能用微电子加工工艺进行刻蚀制图,进行再金属化,因此派瑞林(Parylene)不仅可用作防护材料,而且也能作为结构层中的介电材料和掩膜材料使用,经派瑞林(Parylene)涂敷过的集成电路芯片,其25um细直径连接线,连接强度可提高5-10倍。
超声波雾化喷涂设备在传感器的制造中的可应用于喷洒薄膜聚合物、颜料或其他功能性涂层,例如生物测定安全传感器和应用的传感器,以及用于其它应用的多种传感器,例如,温度感测,气体传感,化学检测,阻抗测量,以及压力或负载传感等等。
在电子器件的制造中,传感器喷涂薄膜聚合物和其它化学物质是不可缺少的关键步骤之一,例如现下备受大家欢迎的苹果手机,其指纹识别是利用指纹传感器元件来实现的,若指纹传感器元件没有经过喷涂这一功能性涂层,就会导致指纹识别系统工作状态不佳不能灵敏识别。在不断扩大的电子市场,人们对于传感器的制造提出了更高要求,驰飞超声波对传感器涂层的喷涂工艺进行了优化,使得涂层工艺成本下降,涂层超薄且均匀致密。
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