云南喷淋式兆声喷头报价询问报价「在线咨询」伦组词语

喷淋式兆声喷头产品概述

兆声清洗是利用兆赫兹级别的超高频超声波能量去进行基材表面亚微米级颗粒的去除以及化学反应。相比于低频超声波空化效应，兆声波空化效应可清楚更小的颗粒并且大幅降低对基材的损伤。东方金荣提供多种类型的兆声系统以用于CMP化学机械抛光、键合前清洗、掩膜清洗、显影、去胶、金属剥离、湿法刻蚀等多种领域。 Siansonic（东方金荣）喷淋式兆声清洗喷头的特点及优势单点喷淋式兆声清洗，相比传统槽式清洗，可解决清洗液二次污染问题。极低的超声空化效应，不会对器件表面造成损伤超高清洗精度，可去除物体表面0.2微米的污渍颗粒非金属腐材质，适应各种酸碱及石英或蓝宝石匹配层技术，无杂质脱落到器件上的风险的换能器贴合技术，更高的稳定性和耐久性

第三代半导体技术的兆声发生器，实现数字化高频大功率驱动。

贴合式兆声清洗头概述

槽式兆声清洗的优点在于其兆声换能器面积较大，可以大面积辐射兆声声场，从而更的进行清洗。但缺点是兆声声场在水槽中分布不均匀，距离换能器越远声强越弱，同时声能传递效率较低。喷淋式兆声清洗的优点在于可直接将兆声能量聚焦在清洗物表面，从而可通过运动清洗物和喷头实现清洗物表面均匀的声场分布，且声能传递效率较高。但喷淋式需要较大的清洗液流量，对清洗液浪费较大，并且喷淋式兆声换能器面积较小，从而声能辐射面积较小，清洗速度较慢。

贴合式兆声清洗是一种吸取了槽式和喷淋式两种兆声清洗的优点并摒弃了二者缺点的更优化的兆声清洗技术。它可以以相对大的面积直接将兆声声能均匀的传递到晶圆表面，具有非常高的传递效率和声场均匀性，同时非常节省清洗液。

超声波清洗原理

超声波是一种频率超出人类听觉范围20 kHz以上的声波。超声波的传播要依靠弹性介质，其传播时,使弹性介质中的粒子振荡,并通过介质按超声波的传播方向传递能量,这种波可分为纵向波和横向波。在固体内,两者都可以传送,而在气体和液体内,只有纵向波可以传送。超声波能够引起质点振动,质点振动的加速度与超声频率的平方成正比。因此,几十千赫兹的超声会产生极大的作用力,强超声波在液体中传播时,由于非线性作用,会产生声空化。在空化气泡突然闭合时发出的冲击波可在其周围产生上千个大气压力,对污层的直接反复冲击,一方面破坏污物与清洗件表面的吸附,另一方面也会引起污物层的破坏而脱离清洗件表面并使它们分散到清洗液中。气泡的振动也能对固体表面进行擦洗。气泡还能“钻入”裂缝中做振动,使污物脱落。对于有油脂性污物,由于超声空化作用,两种液体在界面迅速分散而乳化,当固体粒子被油污裹着而粘附在清洗件表面时,油被乳化,固体粒子即脱落。空化气泡在振动过程中会使液体本身产生环流,即所谓声流。他可使振动气泡表面存在很高的速度梯度和粘滞应力,促使清洗件表面污物的破坏和脱落,超声空化在固体和液体表面上所产生的高速微射流能够除去或削弱边界污层,腐蚀固体表面,增加搅拌作用,加速可溶性污物的溶解,强化化学清洗剂的清洗作用。此外,超声振动在清洗液中引起质点很大的振动速度和加速度,亦使清洗件表面的污物受到频繁而激烈的冲击。

超声波清洗流程

一般来说,清洗的工艺流程依被清洗物体清洗的难易程度及清洗数量而决定。主要清洗流程如下:1)热浸洗或喷洗:目的是将工件上的污染物软化、分离、溶解,并减轻下道清洗工序的负荷。2)超声波清洗:利用超声波产生的强烈空化作用及振动将工件表面的污垢剥离脱落,同时还可将油脂性的污物分解、乳化。3)冷漂洗:利用流动的净水将已脱落但尚浮在工件表面上污物冲洗干净。4)超声波漂洗:溶剂为干净的清水,工件浸入后,利用超声波将浮在工件各边、角及孔隙处的污物清洗干净。5)热净水及冷净水漂洗:进一步去除悬附在工件表面上的污物微粒。6)热风烘干:利用一定的温度和风速,使零件表面快速干燥。