衢州无尘室设备定位安装方案服务介绍「卓宇泰」江若琳走光照露卫生巾

无尘室中不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。

无尘室控管项目：

1. 能除去空气中飘游之微尘粒子。

⒉ 能防止微尘粒子之产生。

⒊ 温度和湿度之控制。

⒋ 压力之调节。

⒌ 有害气体之排除。

⒍ 结构物与隔间之气密性。

⒎ 静电之防制。

⒏ 电磁干扰预防。

⒐ 安全因素之考虑。

⒑ 节能之考量。

⒒照度的的调节

复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。⑴洁净隧道（Clean Tunnel）：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ULSI制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易；(2)室内气流流型及分布：单向流要求均匀、平等的流线，但会受到工艺设备布置和位置变动及人员活动情况等的干扰形成局部涡流。 B.维修设备时可在维修区轻易执行。

无尘室内防止微粒子污染的基本原则：

不携入

在无尘室内不携入微粒子的方法有：

作业员进入无尘室前，机台、零件携入前应进行清洁处理；

进入无尘室者在更衣室要穿着不发尘、不产生静电的具特殊导电性纤维材质的无尘服、帽、鞋、手套、口罩等。

通过风淋室时利用高速干净空气除去附在衣服表面的粒子后，才能进入无尘室。

机器及材料带进无尘室前，应尽可能在密封状态下带进无尘室前室保养后用超纯水擦拭，经风淋室吹淋后才进入无尘室。

无尘室中须全程穿戴密闭式安全帽及佩戴附有filter的排气用小型fan于腰间。

若能彻底实施“不携入”技术，无尘室内的洁净度就可以维持。但现实中人和物品的频繁出入及制造机台的掣动，在广大的无尘室内要有完全洁净度是不可能的。因此“不储备”技术快速地在过滤器中应用以除去已发生的微粒子变得非常重要。通常已发生的微粒子会依据重力及静电吸附力而停留在周边的物体表面。突发性的振动及不稳定的气流会使这些累积微粒在空气中再度扬起，增加了重大微粒子污染的危险性。乱流无尘室靠送风气流不断稀释室内空气，将污染空气逐渐稀释，来实现洁净的。