广州潽拓光电科技有限公司——安捷伦二手分子泵升级改造
产品生命周期设计方法传统的产品设计和开发过程,常被当作是研制产品的一个步骤,因为产品的设计者不可能对上市时间、质量与可靠性、生产成本、售后及易维护性等全盘掌握,使用传统过程设计的产品在投入生产时不可避免地需要进行反复修改。
产品生命周期设计方法通过提议、调查、实验室原型、生产原型、试运行和量产六个步骤来推动和设计过程,而在这些设计过程推进时,采用各种各样的测试和多个部门参与的交互式讨论和分析来决定产品设计方案和方向,而这其中的关键就是各种测试。
1000余台样泵为了验证各种不同的设计,安捷伦执行了远超行业标准的大量测试,在量产之前陆续生产了多达1000 余台样泵,对各项结构和功能参数进行测试和分析,终产品定型时,仅选用了结果的结构和方案。潽拓光电也在其中学结了产品使用会产生的问题以及特性注意事项服务特性都方便对产品维修和方案起很大作用。
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高真空涡轮分子泵内有一个高速旋转(每分钟几万转)的转子,转子上有涡轮和拖动级进行抽气。随着技术的不断进步,市场不仅对泵性能的要求越来越高,更对其小型化、高可靠性、维护方便性及灵活易用性等都提出了更高的要求通常的分子泵拖动级采用圆柱螺旋形的沟槽,而安捷伦 TwisTorr 技术把拖动级放在了薄薄的圆盘上,这样就可以在有限的空间内集成多对拖动级转子盘和定子盘,节省空间的同时又能提率和性能。
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采用该技术的分子泵尺寸会更紧凑,并且有更高的压缩比和前级耐压。更高的压缩比(特别是对小分子气体的高压缩比)可以带来更好的极限真空,而更高的前级耐压允许使用更小的前级泵,从而降低了整个真空系统的成本和尺寸。
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安捷伦真空(原瓦里安真空)是离子泵,赛斯是NEG吸气剂泵的始创者,两家公司有累计超过100年的真空经验。此次的吸气剂复合离子泵采用了各自的技术,两家公司充分的信任和紧密的合作促成了这一全新产品的问世,我们期待更多类似的合作,和更多让我们眼前一亮的产品。
安捷伦 AFS 悬浮轴承系统,采用特殊的弹性材料隔离转子与泵体,避免转子和轴承受到从泵体传来的冲击;并且由于弹性材料的阻尼效应,可以吸收各种振动的能量,降低整泵的噪音和振动,保证好的轴
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安捷伦扩散泵特点维护简单,皮实耐用不爱坏扩散泵内部没有活动部件,与机械式真空泵的磨损失效不同,其工作失效的原因主要有泵油劣化、加热器损坏、喷塔被油垢污染等等。安捷伦扩散泵管状加热器和压紧结构设计,拥有很高传热效率的同时,又保证了泵油和加热器本身都没有过热点,泵油不容易裂解,加热器也不容易损坏;同时,精细的热传导和保温结构设计,也使热损失大大降低。
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为了减少轴承因长期存放而造成的分布不均匀,安捷伦的分子泵控制器内置了“软启动”功能。如经过运输或者停泵的时间超过 2 个月,可以使用软启动功能启动分子泵,转速以阶梯方式缓慢加速,使得轴承润滑脂在低速阶段有充分时间重新均匀分布。如果存放时间超过 10 个月,建议送回维修中心,让分子泵在检测平台上按照既定程序加速(Re-channeling),磨合轴承。
CombiNEG系列采用安捷伦科技StarCell离子泵抽气单元和赛斯(Saes Groups)的烧结型非蒸散型吸气剂广州潽拓光电科技有限公司——安捷伦二手分子泵升级改造
安捷伦分子泵采用的3级TwissTorr 拖动级技术,通过分子泵旋转盘面,提高气体分子动能,从而有效提高抽速和极高的压缩比。的拖动级技术与上一代设计相比,功耗降低了20%。安捷伦Triscroll 和变频Triscroll 涡旋式干泵为双级涡旋式干泵,是目前市场上极限真空度的干泵
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安捷伦Agilent E8364B PNA系列网络分析仪频率范围:10 MHz-50 GHz104 dB 动态范围和 <0.006 dB 迹线噪声<26 微秒/点测量速度,32 个通道,16,001 个点TRM/LRM 校准可实现准确的晶圆上、夹具内、波导和天线测量混频器变频损耗、回波损耗、隔离度和群延迟放大器增益压缩、谐波、IMD 和脉冲射频安捷伦E8364B矢量网络分析仪是PNA系列网络分析仪平台的成员,并提供速度和精度的组合,为今天的高频率,的组件测试要求的苛刻需求。
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