广州潽拓光电科技有限公司——安捷伦真空分子泵维修费用
抗振动测试 通过对一批泵(处于运行和非运行条件下)进行一系列测试,证明对外部源产生振动的耐受性。在 105 分钟的振动周期中,全转速和不运行的每个泵在垂、水平、倒立方向上受到 0.5–2 g 加速度水平的振动。该测试证实了泵的稳定性以及耐振性,因为未观察到转子机械接触或泵运行状态的改变,且泵不平衡性仍然远低于阈值。温度测试 将泵置于 –40 °C 至 +70 °C(处于非运行状态)以及 0 °C至 40 °C(处于运行状态)下暴露 86 小时。对每个泵的不平衡性和是否可正常操作验证 11 次,结果显示仅存在的变异,远低于阈值。温度测试证实了泵在各种预期运行和非运行温度条件下的稳定性。
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殊润滑剂润滑轴承
使用涡轮分子泵的高真空环境对润滑油或润滑脂非常敏感,因为在高真空环境下,润滑油或润滑脂非常容易汽化。一方面,这些油脂类的蒸气会形成一种气源,影响系统的真空度和纯净度;另一方面,这些蒸气进入到真空腔体后,会冷凝附着在其它零件上,影响高真空系统内相关设备的工作。
TwisTorr 704 FS 采用安捷伦与轴承厂家合作研发的轴承,能够任意方向安装;并且,由于其使用的特殊润滑剂饱和蒸汽压极低,正常使用时几乎没有损耗,使得该泵在整个寿命周期内都无需进行加注润滑脂、更换油棉等维护。
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气载、热气体、突变气载
a 引起问题:温度升高;动静片变形;转子上移;润滑失效5℃原则;轴承失效
b. 措施:加大水冷;增加冷却装置;缩短换油时间7磁场屏蔽出现的问题
旋转的转子在磁场中产生涡电流,将使转子发热,将产生如下问题:
①、转子与定子间隙越来越小,造成碎片;
②、转子温升过大造成磁性电机转子退磁;
③、由于发热会减弱铝材料的强度,造成碎泵;
④、转子发热,改变转子和轴的相对位置,造成碎泵。
分子泵在磁场中运转时,径向和轴向磁场强度均不得大于30Gs。原则上,大于30Gs应使用导磁材料屏蔽。
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为什么要选择涡旋式无油干泵IDP-3?极低维护成本IDP-3的采购价格及维护包价格只是隔膜泵的一半更换操作快捷15分钟即可完成的密封条更换工作降低音频噪声—提高用户体验使用精密的测声计,并通过ISO标准进行测试:在操作人员位置的测试结果表明,IDP-3的噪声会小于油封式真空泵2dB
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安捷伦分子泵标准保养服务安捷伦维修中心提供各型号安捷伦分子泵的标准保养服务,主要项目包括:对整泵进行拆解和清洗、更换密封和轴承套件、动平衡调试和泄漏检测等。安捷伦的分子泵设计是免日常维护的。由于工艺环境差异,分子泵的工作寿命差别很大,但是如果分子泵已经工作了很长时间(5年以上),或者出现了噪音、温度、功率异常,及时的对其进行维护保养可以大大延长其使用寿命。
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油润滑分子泵:润滑油量小,且在前级真空段,对真空室污染小。脂润滑分子泵:油脂量小,前级配干泵可获得近似无油的清洁真空。全磁悬浮分子泵:无须润滑,与干泵一起使用,可获得无油的清洁真空环境
干式真空泵主要应用于半导体、化工、电影、仪器、食品等范围广泛的行业,市场上超过50%的产品是进口品牌,尤其在半导体行业中,绝大多数的真空泵均为国外品牌,国产真空泵主要应用于化工等行业。
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安捷伦推出GC-MS 5973和5975分析仪器使用无油真空解决方案——涡旋式无油干泵IDP-3,在客户现场就可实现。现在使用GC-MS分子泵系统的分析仪器的客户,可以将您的真空泵升级为无油真空泵IDP-3,来改善操作环境,降低使用成本,消除更换润滑油和处置废油所带来的一切烦恼。
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涡轮分子泵内有多组相间动轮叶和定轮叶,每一个轮叶上有许多按一定角度斜置的叶片,如图一所示。实际的涡轮分子泵都是由多级叶列串联组成,即按动片、定片、动片等依次交替排列。动叶片转动时又类似于电风扇叶片的作用,能将气体从一侧抽到另一侧。提高分子泵的转速,有利于提高分子泵的抽速。由于叶片转速限制,如果气体分子运动速度较大,泵抽真空就比较困难。
广州潽拓光电科技有限公司推出全新HiPace 350 和 450 涡轮分子泵,该产品特别适用于质谱分析、电子显微术、测量技术、粒子加速和等离子体物理方面的应用。新产品的应用领域十分广泛,除了用于分析、真空工艺和半导体技术外,还可用于真空镀膜、研发以及工业领域。
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