东莞拉奇纳米科技有限公司是一家从事纳米镀膜代工与纳米镀膜设备制造销售的公司,是将派瑞林(PA-RYLENE)高分子材料裂解为纳米分子再进行产品表面的真空镀膜处理。使被镀物具备以下特性:防水、防潮、耐酸碱、抗盐雾、高抗压、绝缘、生物兼容性等。
真空镀膜设备操作规程
④ 安装固定式钨丝加热器。PVDF膜和铝盖板固定在转盘上。将铝线放入螺旋加热器。清洁钟罩的所有零件,确保没有杂质。
⑤ 把钟罩放下。
⑥ 启动真空镀膜设备的真空机械泵。
⑦ 打开复合真空计电源(复合真空计型号:fzh-1a)。
影响磁控溅射真空镀膜机薄膜均匀性的因素有哪些?
磁场不均匀的影响
由于实际的磁控溅射装置中电场和磁场不是处处均匀的,也不是处处正交的,都是空间的函数。写出的三维运动方程表达式是不可解的,至少没有初等函数的解。所以磁场的不均匀性对离子的影响,也即对成膜不均匀性的影响是难以计算的,好的方法就是配合实验具体分析。图1是用中频孪生靶柔性卷绕磁控溅射镀膜装置实验得出的靶磁场均匀性和成膜厚度均匀性的对应关系。
真空镀膜设备结构:
真空电镀加工由机械泵、分散化泵、增压水泵、拓展泵、ROTS泵、粉碎机轮分子泵等构成。依据电阻器蒸发法、磁控源对总体目标原材料和限度多弧开关电源等电镀工艺方式的挑选技术标准,真空泵测量可挑选大数字智能化负压表以及品质好的测量规范,及其全自动工作压力操纵仪等检测仪器。膜厚测量可选用方块电阻测量仪,透过率计等。
真空镀膜设备主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具有很多种类,包括真空离子蒸发 ,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积等很多种。真空镀膜设备在使用中也会很多问 题,比如镀出的产品掉膜。下面我们就来介绍一下真空镀膜设备镀出的产品掉膜原因。
1.产品表面的洁净度不够,离子源清洗气放大时间过长。
2.清洗时是否加了清洗剂,或者更换了清洗剂,建议使用纯水先试一下。
3.工艺参数是否变动,在膜厚和电流上可进行一些调整。
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