分子泵:分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵,尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一,所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速,国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板,称之为低温分子泵,水蒸气被低温板捕获,其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用,既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展,分子泵应该是中国真空泵制造业发展的重点。首先,分子泵要从小到大建立完整系列,以满足不同场合的需要。
射流真空泵价格根据使用的范围和抽气效能可将真空泵分为三类:(1)一般水泵,压强可达到1.333~100kPa(10~760mmHg)为"粗"真空。(2)油泵,压强可达0.133~133.3Pa(0.001~1mmHg)为"次高"真空。(3)扩散泵,压强可达0.133Pa以下,(10-3mmHg)为"高"真空。若要较低的压力,那就要用到油泵了,好的油泵能抽到133.3Pa(1mmHg)以下。在有机化学实验室里常用的减压泵有水泵和真空泵两种,若不要求很低的压力时,可用水泵,如果水泵的构造好且水压又高,抽空效率可达1067~3333Pa。水泵所能抽到的低压力理论上相当于当时水温下的水蒸气压力。例如,水温25℃、20℃、10℃时,水蒸气的压力分别为3192、2394、1197Pa(8-25mmHg)。用水泵抽气时,应在水泵前装上安全瓶,以防水压下降,水流倒吸;停止抽气前,应先放气,然后关水泵。
进水管的进水口方位不对①进水管的进水口离进水池底和池壁间隔小于进水口直径。若是池底有泥沙等污物时,进水口离池底的间隔小于直径的1.5倍时,会形成抽水时进水不畅或吸进泥沙杂物,阻塞进水口。②进水管的进水口入水深度不行时,这样会引起进水管周围水面发生漩涡,影响进水,削减出水量。正确的装置办法是:中小型水真空泵入水深度不得小于300~600mm,大型水真空泵不得小于600~1000mm。
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