金百辰智能科技(浙江)有限公司从事汽车零部件、家电类、机械配件等塑胶成型与pvd镀膜工艺加工。
pvd真空镀膜炉与您分享真空镀膜随着PVD镀膜技术应用的迅速推广,吸引了国内外们和相关企业积极研发,至今无论是PVD沉积技术、PVD的制备工艺,还是PVD设备配套装备与部件,都有了长足的进步。
1.冷阴极电弧 阴极电弧技术是在真空条件下,通过低电压和高电流的弧光放电将靶材气化、离化成等离子体状态,从而实现薄膜材料的沉积。近阴极电弧蒸发源有新的发展,主要是通过有效强制冷却和电磁场的设计,在两者共同作用下,使靶材的离化率更高,薄膜性能更加优异。
2.磁过滤阴极弧 配以的电磁过滤系统,将电弧产生的等离子体中的中性宏观粒子、分子团等大颗粒过滤干净,经磁过滤后沉积粒子的离化率达,因此制备的薄膜非常致密和平整光滑,具有抗腐蚀性能好,与基体的结合力更强。
3.柱状或平面状大面积电弧源 保证高离化率的同时,减少大颗粒沉积的比例,达到既有好的附着力,又有较好的表面光洁度效果。
4.中频磁控溅射 增加离化率,减少电荷积累引起的异常放电,预防靶表面现象,沉积工艺更稳定。
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pvd真空镀膜炉与您分享PVD涂层是指在真空条件下使用低电压、大电流电弧放电技术,使用气体放电来蒸发目标并电离蒸发的物质和气体,以及使用电场加速将蒸发的物质及其反应产物沉积在工件上。PVD涂层是一个复杂的过程,特别是应用于工具和模具的PVD涂层要求涂层的所有方面都有很高的性能。在涂布过程中,许多因素会影响涂层的性能。
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pvd真空镀膜炉与您分享真空蒸镀的设备及物理原理
真空蒸镀设备主要由真空室和抽真空系统组成,真空室内有蒸发源(即蒸发加热器)、基片及基片架、基片加热器、排气系统等。
将镀膜材料置于真空室内的蒸发源中,在高真空条件下,通过蒸发源加热使其蒸发,当蒸气分子的平均自由程大于真空室的线性尺寸以后,膜材蒸气的原子和分子从蒸发源表面逸出后,很少受到其他分子或原子的碰撞与阻碍,可直接到达被镀的基片表面上,由于基片温度较低,膜材蒸气粒子凝结其上而成膜。
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pvd真空镀膜炉与您分享高频感应加热蒸发
高频感应加热蒸发是将装有镀膜材料的坩埚放置在高频螺旋线圈的中央,使镀膜材料在高频电磁场的感应下产生强大的涡流电流和磁滞效应,致使膜层升温,直至气化蒸发。蒸发源一般有水冷高频线圈和石墨或者陶瓷(氧化镁、氧化铝、氧化硼等)坩埚组成。高频电源采用的频率为1万至几十万赫兹,输入功率为几至几百千瓦,膜材体积越小,感应频率越高。感应线圈频率通常用水冷铜管制造。高频感应加热蒸发方法的缺点是不易对输入功率进行微调,它有下述优点:
1、蒸发速率大:
2、蒸发源温度均匀稳定,不易产生镀料液滴飞溅的现象,也可以避免沉积在薄膜上产生现象:
3、蒸发源一次装料,温度控制比较容易,操作简单。
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