工艺卡点特性
1.提高产品成品率:硅片装夹牢固,减少掉片现象,减少氮化硅的色差片,提高了成品率。
2.工艺点钩点小,新的圆形工艺点在硅片上的钩点面积是1.472mm2,新的菱形工艺点钩点面积是0.619mm2。
3.使用寿命长。
4.采用SGL高纯石墨,纯度高、硬度高、耐磨、使用寿命长。
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