目前，几乎任何材料都可以通过真空镀膜工艺涂覆到其他材料的表面上，这为真空镀膜技术在各种工业领域中的应用开辟了更加广阔的前景。
用真空镀膜技术代替传统的电镀工艺，不但能节省大量的摸材和降低能耗，而且还会消除湿法镀膜中所产生的环境行染。因此国外在钢铁零件涂镀防瘸层和保护源方面，已采用真空搜膜工艺来代替电镀工艺。在冶金工业中，为钢铁和带钢加镀铝防护层已很普遍;在机械制造业中，真空搜膜工艺用于改变改变某些加工工艺和节约贵重的原材料，如飞机浔轮发动机的叶片已经不用价h格昂贵的妤高温金属制造，而是采用价格低廉易加工材料，成形后再用真空被膜的方法在叶片表面上力镀耐高温，耐南蚀的防护层。
考夫曼离子源是应用较早的离子源。属于栅格式离子源。首先由阴极在离子源内腔产生等离子体，让后由两层或三层阳极栅格将离子从等离子腔体中抽取出来。这种离子源产生的离子方向性强，离子能量带宽集中，可广泛应用于真空镀膜中。缺点是阴极（往往是钨丝）在反应气体中很快就烧掉了，另外就是离子流量有极限，对需要大离子流量的用户可能不适和。
霍尔离子源是阳极在一个强轴向磁场的协作下将工艺气体等离子化。这个轴向磁场的强不平衡性将气体离子分离并形成离子束。由于轴向磁场的作用太强，霍尔离子源离子束需要补充电子以中和离子流。常见的中和源就是钨丝（阴极）。
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