广州潽拓光电科技有限公司——瓦里安真空泵保养费用
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分子泵是高速旋转的机械,轴承故障可能会造成泵叶片打碎直接报废;而当轴承工作状态不良时,会有一系列的现象,如分子泵无法启动,运行噪音增大,温度或功率异常增加等,在排除外界环境和进排气压力过高等外界因素后,应尽快停泵,送到维修中心进行检修。
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电压的不稳定,特别对磁浮类的分子泵损伤较大。前级泵的效率差;我们知道腔体内的大部分气体首先是通过前级泵抽出,真空达到一定程度分子泵才会启动。如果前级泵的效率差,分子泵就会比较吃力,启动速度慢,抽气时间长,电流高,分子泵温度升高等。
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振动频率为60%-工作转速,或者是密封间隙过大,护圈松动,密封磨损
处理方法:检查、调整或更换密封;
振动频率为2倍工作转速,不对中,联轴器松动,密封装置摩擦,壳体变形,轴承损坏,支承共振,推力轴承损坏,轴弯曲,不良的配合
处理方法:检查,采取相应措施,修理、调整或更换;
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分子泵在运转过程中,出现频率从正常下降至一定频率后又恢复到正常,之后又下降至一定频率,再恢复到正常,反反复复,更换电源后现象仍如此,请问该现象如何解释?
原因:负载太大,系统真空度不够
解决方法:检查系统
广州潽拓光电科技有限公司——瓦里安真空泵保养费用 VarianTurbo-V 1000a分子泵故障维修如在阴冷潮湿的环境或抽除弱酸气体的环境使用,停机前抽入一定量的干燥空气;如遇突然停水,停水以后应即刻停泵,否则泵会因过热而卡死或烧毁电机等;泵工作时不要频繁起停,这样会影响泵的寿命。