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真空用机械密封及橡胶
真空用机械密封的特点：真空器件比带压设备的密封困难。内压可以促进密封，而在真空密封中，摩擦副的贴合主要靠弹性元件的加载，补偿环辅助密封圈必须选用弹性好的材料才能实现密封。
真空器件的密封有两种情况，一种是密封件把充满液态介质的某一容器与外部真空空间分隔开。
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1999 年，Burstein和探讨了随机分布激光加工端面微孔尺寸对机械密封承载能力的影响。相比之下，Etsion 对端面微孔机械密封的研究更为深入。密封装置应能满足以下几点要求：在一定的压力、温度范围内具有良好的密封性能。1999年至2006年期间，Etsion针对LST-MS提出了一种新的数学模型，进行了一系列理论及实验研究，建立静压多孔端面干气密封理论，以一定泄漏量下的承载力为目标，对多孔织构参数进行了数值优化。
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研究结果表明，优化后的LST-MS摩擦力矩及产热显著减小，较普通光滑端面机械密封，其密封寿命延长3 倍以上; 可通过表面微孔化技术使得非平衡式机械密封具有较高的承载能力; 指出静压多孔端面干气密封性能主要依赖微孔部分密度，与微孔直径无关，微孔实际深度对密封性能影响甚小。密封面本身也会提供密封失效的迹象，如振动时，在传动零件上就会有磨损的痕迹，如痕迹不明显，则一般是装配不当造成的。
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需要注意在安装机械密封过程中，应保持清洁，且不允许用工具敲打密封元件，以防损伤和破坏，安装时，动、静环表面应涂上一层清洁的机油和透平油。辅助密封圈(包括动环密封圈和静环密封圈)安装前也需涂一层清洁的机油或透平油，以保证安装顺利，接着将静环密封圈套在静环背部后，装入密封端盖内，要注意勿伤静环端面，要保证静环端面与端盖中心线垂直，且注意静环背部的防转槽要对准防转销，但不能相接触。静环压盖安装时用力要均匀，防止压偏，用塞尺检查，上下左右位置的偏差不大于0。
对于质量较差的石墨环（动环）来讲，其内部气孔较多，这是因为在制造过程中，聚集在石墨内部的气体膨胀将碳微粒吹出的所致，因此这种低质的石墨环在密封启用中，其碳微粒很容易脱落，而使密封面在密封停用时粘住。
密封面内圆柱面上的伤痕很可能是外面的杂物进入密封面或安装不当造成的。密封面上的环形沟槽，多数是固体微粒沉积于密封面而引起的。